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緊湊型-周期極化鈮酸鋰薄膜波導(dǎo)器件

更新時間:2025-10-17點擊次數(shù):142

封面展示了緊湊型光纖進、光纖出的周期極化鈮酸鋰(PPLN)薄膜脊型波導(dǎo)器件。該器件結(jié)合了準(zhǔn)相位匹配的設(shè)計靈活性和波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的高功率密度優(yōu)勢,具有轉(zhuǎn)換效率高(比塊狀晶體高出2~3個數(shù)量級)、功率損耗小、結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點,適用于瓦級頻率變換。


一、背景介紹

周期極化鈮酸鋰(PPLN)晶體是基于準(zhǔn)相位匹配(QPM)原理,將常規(guī)的摻鎂鈮酸鋰(MgOLN)晶體的內(nèi)部疇結(jié)構(gòu)設(shè)計并制作成周期極化結(jié)構(gòu)(又稱為光學(xué)超晶格結(jié)構(gòu)),幫助提高晶體的非線性變頻特性。它可以利用晶體的最大非線性系數(shù),實現(xiàn)晶體整個透光范圍(0.3~5 μm)內(nèi)的頻率變換,具有體積小、效率高、無走離效應(yīng)、設(shè)計自由等優(yōu)點。采用塊狀PPLN晶體的光學(xué)系統(tǒng)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于各類激光設(shè)備中,但是它們相對笨重,且還需要嚴(yán)格的光路對準(zhǔn)。


隨著航天航空、量子通信、生物醫(yī)療等領(lǐng)域?qū)鈱W(xué)集成度的要求越來越高,同時由于 PPLN 晶體的頻率轉(zhuǎn)換效率與光功率密度強度成正比,因此將 PPLN 晶體制作成波導(dǎo)結(jié)構(gòu),可以將光聚焦并限制在較小的通光口徑內(nèi),使光功率密度大大增強,從而大幅提高其光學(xué)轉(zhuǎn)換效率,拓寬其在低泵浦功率下的應(yīng)用。另外,借助先進的微納加工技術(shù),可以在鈮酸鋰薄膜材料中集成多種不同功能的光學(xué)元件(如電光、聲光、分光等),做成類似集成電路一樣的集成光子學(xué)平臺,可以大幅度改善光子學(xué)系統(tǒng)的穩(wěn)定性,提高其轉(zhuǎn)換效率。


緊湊型光纖進、光纖出的PPLN薄膜脊型波導(dǎo)器件中PPLN薄膜脊型波導(dǎo)結(jié)合了準(zhǔn)相位匹配的設(shè)計靈活性和波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的高功率密度優(yōu)勢,具有轉(zhuǎn)換效率高(可比塊狀晶體高出2~3個數(shù)量級)、功率損耗小、結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點,特別適用于瓦級頻率變換。


二、創(chuàng)新研究


針對PPLN塊狀晶體在腔外單通頻率變換過程中效率低的問題,中國科學(xué)院福建物質(zhì)結(jié)構(gòu)研究所梁萬國研究員團隊對常規(guī)PPLN薄膜脊型波導(dǎo)的制作工藝進行了改進,對鍵合過程中SiO2緩沖層的厚度進行了研究,成功地制作了緊湊型光纖進光纖出的波導(dǎo)封裝模塊,下圖為制作的PPLN薄膜脊型波導(dǎo)側(cè)視圖和俯視圖。當(dāng)溫度為24.8 ℃、1560 nm基頻光輸入功率為1.2 W時,最大輸出653 mW的倍頻光,光光轉(zhuǎn)換效率達54.4%,歸一化轉(zhuǎn)換效率為20.2 %/W·cm2


圖 PPLN薄膜脊型波導(dǎo)(a)側(cè)視圖和(b)俯視圖


三、總結(jié)與展望


研究團隊采用PPLN鍵合減薄工藝,研制出了緊湊型光纖進光纖出的波導(dǎo)封裝模塊。后續(xù)工作將繼續(xù)優(yōu)化PPLN薄膜制作工藝,優(yōu)化光纖端面耦合封裝工藝,采用波導(dǎo)和光纖同時斜角的形式,并在端面加鍍增透膜以減小端面反射,進一步提高模塊的耦合效率。使用激光點焊以及玻璃封焊等方法,對封裝工藝進行優(yōu)化,進一步提高模塊的功率穩(wěn)定性。



參考文獻: 中國光學(xué)期刊網(wǎng)





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