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當(dāng)前位置：首頁產(chǎn)品中心光學(xué)測量儀器干涉儀/標(biāo)準(zhǔn)具Fiz3D 面型干涉儀 (VICT技術(shù) 1秒測量0.6米工件觸摸屏操作)

Fiz3D 面型干涉儀 (VICT技術(shù) 1秒測量0.6米工件觸摸屏操作)

產(chǎn)品簡介

筱曉(上海)光子技術(shù)有限公司是一家被上海市評為高新技術(shù)企業(yè)的專業(yè)光學(xué)服務(wù)公司，業(yè)務(wù)涵蓋設(shè)備代理以及項目合作研發(fā)，建有*的AOL(Advanced Optical Labs)光學(xué)實驗室，為國內(nèi)外客戶提供專業(yè)技術(shù)支持服務(wù)
Fiz3D 面型干涉儀 (VICT技術(shù) 1秒測量0.6米工件觸摸屏操作)

產(chǎn)品型號：

更新時間：2024-12-08

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

訪問量：1831

產(chǎn)品咨詢 18602170419

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產(chǎn)品分類

光學(xué)測量儀器

相機線寬測量儀光度儀/反射計偏振分析儀/旋光儀顯微OCT掃頻測振/磁光克爾探測卡/感應(yīng)卡觀察儀/觀察鏡波前分析儀/波前傳感器示波器精密定位/光學(xué)平臺功率計自準(zhǔn)直儀光譜分析儀脈寬測量(相關(guān)儀等) 光束/光斑質(zhì)量分析儀干涉儀/標(biāo)準(zhǔn)具波長計相機/鏡頭/機器視覺

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品牌	其他品牌	價格區(qū)間	面議
組成要素	半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品及設(shè)備	產(chǎn)地類別	進口
應(yīng)用領(lǐng)域	化工,建材/家具,電子/電池

總覽

面型干涉是目前最主流的光學(xué)表面計量手段， Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路。

VICT（Vibration Immunity at Crest and Trough 在波峰和波谷處的振動免疫）打破了“干涉儀非常容易受到干擾、要在十分精密的環(huán)境下工作"的認(rèn)知。

Fiz3D 面型干涉儀 (VICT技術(shù) 1秒測量0.6米工件觸摸屏操作),Fiz3D 面型干涉儀 (VICT技術(shù) 1秒測量0.6米工件觸摸屏操作)

產(chǎn)品特點

30 納米 jue對精度,1nm重復(fù)精度

0.6 米直徑工件, 僅需 1 秒測量

表面形貌 3D 成像

全新的觸摸屏操作模式,Victsin 測量軟件,現(xiàn)已支持Windows11

自動調(diào)平選件,讓全自動測量成為現(xiàn)實

成盤測量選件實現(xiàn)生產(chǎn)過程控制

一臺機器可測量多種工件通過更換不同的鏡頭平面、凹面、凸面…

通用參數(shù)

能夠測量的工件

直徑 < 600 mm

粗糙度 < Ra 0.1μm 平面或球面工件

超快速、超高精度的表面形貌三維成像

搜狗截圖20230531153614.png '

通過光路擴展, 測量粗糙度> Ra 0.3 μm 的平面工件

搜狗截圖20230531153654.png

通過CGH補償器, 測量復(fù)雜曲面

搜狗截圖20230531153719.png

黑色或透明工件, 仍然能夠測量

搜狗截圖20230531153743.png

適合半導(dǎo)體應(yīng)用的MST(多表面測量) 一次采集, 同時完成上表面、下表面、厚度的計量。

搜狗截圖20230531153808.png

適合半導(dǎo)體應(yīng)用的jue對測距干涉，量程 > 100 μm 可進行臺階、翹曲度、熱變形的測量。

搜狗截圖20230531153837.png

出色的動態(tài)范圍，超過100條干涉條紋, 仍然可以分析。

搜狗截圖20230531155113.png

將 FEA（有限元分析）引入干涉儀結(jié)構(gòu)設(shè)計

根據(jù)文獻, 干涉計算對 0~120 Hz 的振動敏感。因此, 我們將機械結(jié)構(gòu)的 7 階模態(tài)設(shè)計到 127 Hz，大大降低了機械結(jié)構(gòu)對振動的敏感性

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超高重復(fù)精度

對一片 250mm 直徑的平晶進行 1000 次連續(xù)測量。

PV 值的重復(fù)精度為 5.7 納米 (1/111 λ）

RMS 值的重復(fù)精度為 0.38 納米 (1/1666 λ）

VICT Dop模式,數(shù)據(jù)未經(jīng)人為修改

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三維成像原理

面型干涉是目前最主流的光學(xué)表面計量手段， Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路

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VICT 技術(shù)原理

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選件

VICT High 超高精度測量模式

支持到0.1納米 ( 1/6330 λ）RMS重復(fù)精度和1納米（1/633 λ）PV重復(fù)精度，對環(huán)境擾動進行建模分析, 包括振動、氣流、光場在內(nèi)的負(fù)面影響排除。

沒有使用多次測量取平均的方法, 不會導(dǎo)致被測物面型被“美化" 。

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VICT Dop 多普勒抗振動測量模式

非常惡劣的工業(yè)環(huán)境下仍正常工作，所有模式中zui高的測量效率，允許不使用隔振平臺。

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蒙版跟蹤

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超分辨三維圖

搜狗截圖20230531154914.png

清潔度分析

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基礎(chǔ)配置

主機	型號	測量尺寸(圓形-直徑)(注1)		立式使用	臥式使用
	Type100	102mm		OK	OK
	Type150	152.4 mm		OK	OK
	Type250	250mm		OK	OK
	Type340 (注2)	340mm		OK	OK
	Type450	457.2 mm		x	OK
	Type600	609.6 mm		x	OK
	注1:在80%直徑以內(nèi)使用時,可以獲得更好的測量效果。注2:推薦臥式使用,立式使用時會降低精度。

激光測距點數(shù)	標(biāo)準(zhǔn)	692,224
	高清	2,663,424
	高速	186,623
	超高速	692,224

測量激光	激光器類型	波長(nm)	8h波長穩(wěn)定度(nm)(注1)		壽命(h)(注2)
	穩(wěn)定氦氖	632.8	0.0005		20,000
	穩(wěn)定半導(dǎo)體(注3)	633	0.02		50,000
	高效氦氖	632.8	0.1		20,000
	高效半導(dǎo)體(注4)	635	6		5,000
	注1:在恒溫,隔振的實驗室測試。注2:由激光器廠家提供的參考壽命。注3:推薦用于Vctsin MST 注4:可用于Victsin MST

計算機	CPU		獨立顯卡		顯示屏		操作系統(tǒng)
	Intel 12代i712核心		NVIDIA Quadro		2k分辨率		Win10

測量軟件	Victsir軟件模塊	掃描方式		單平面干涉(注1)		雙平面干涉(注2)
	Victsin Static (注3)	無		OK		X
	Victsin PSI	壓電振鏡		OK		X
	Victsin MST	波長調(diào)諧		OK		OK
	注1:適用于大部分工件。注2:通常適用于透明工件,同時對上表面,下表面,厚度,進行測量。注3:基礎(chǔ)版本,不推薦用于高精度測量。

測量精度

jue對精度注1	Type 100~250	Type 340	Type 450~600
PV	31.64 nm或1/20λ	42.19 nm或1/15 λ	63.28 nm或1/10λ
RMS	6.328 nm或1/100 λ	8.437 nm或1/75λ	12.66 nm或1/50 λ
RMS	注1:jue對精度被定義為"參考鏡的jue對精度"實際測量的jue對精度=jue對精度＋重復(fù)精度。注2:波長為測量激光的波長，例如632.8 nm的測量激光,1/20約為31.64 nm,1/15約為42.19nm,1/12約為632.28 nm . 注3:該精度為我們提供的標(biāo)準(zhǔn)平面參考鏡的精度,更高精度需求請聯(lián)系銷售人員。注4:非平面參考鏡的精度通常低于平面參考鏡,具體數(shù)值請聯(lián)系銷售人員確認(rèn)。

重復(fù)精度	VICT-High	VICT-Low	VICT-Dop
PV	1 nm或1/633 λ	3 nm或1/211λ	10或1/63λ
RMS	0.1nm或1/6330 λ	0.3 nm或1/2110 λ	1 nm或1/633λ
RMS	注1:實際精度與測量環(huán)境有關(guān)，zui高精度與VICT-High相同,表格內(nèi)數(shù)值考慮了輕微的環(huán)境擾動。

PV值是 Peak to Valley （峰值與谷值的差值）

RMS值是 Root Mean Square （均方根值），根據(jù)經(jīng)驗RMS值是PV值的1/3左右。因為像平面這類的簡單形狀，大多使用PV值來表示。

例如：面型精度的PV值是1/4λ時，表示理想平面的Max. 偏差值是158.2nm

重復(fù)精度定義

連續(xù)100次測量的允差 (95%置信度)

測試環(huán)境

樣品放置于氣浮隔振桌.上,樣品距離參考鏡100mm,光路被遮光罩包裹,房間內(nèi)空調(diào)關(guān)閉，以避免氣流擾動。

被測物

直徑小于參考鏡的80%,平面反射工件,反射率4%+1%,PV精度高于50 nm, RMS精度高于5 nm。

可靠性與環(huán)境要求

硬件可靠性	平均沒的有.故障工作時間>1000小時平均連續(xù)沒的有.故障工作時間>12小時/天
軟件可靠性	平均連續(xù)沒的有.故障工作時間>12小時/天
對準(zhǔn)角度允差	± 3°
光瞳調(diào)焦范圍	≥±1.5米
運輸和貯存	溫度	+10~+40 °c
運輸和貯存	濕度	RH≤60%
工作條件	溫度	+20~+25℃
	溫度變化	≤±1℃ @24小時
	濕度	RH≤50%
	電壓	AC 220V,50 Hz,1.5kW

公司簡介
筱曉(上海)光子技術(shù)有限公司是一家被上海市評為高新技術(shù)企業(yè)的專業(yè)光學(xué)服務(wù)公司，業(yè)務(wù)涵蓋設(shè)備代理以及項目合作研發(fā)，公司位于大虹橋商務(wù)板塊，擁有接近2000m2的辦公區(qū)域，建有500平*的AOL(Advanced Optical Labs)光學(xué)實驗室，為國內(nèi)外客戶提供專業(yè)技術(shù)支持服務(wù)。公司主要經(jīng)營光學(xué)元件、激光光學(xué)測試設(shè)備、以及光學(xué)系統(tǒng)集成業(yè)務(wù)。依托專業(yè)、強大的技術(shù)支持，以及良好的商務(wù)支持團隊，筱曉的業(yè)務(wù)范圍正在逐年增長。目前業(yè)務(wù)覆蓋國內(nèi)外各有名高校、*科研機構(gòu)及相關(guān)領(lǐng)域等諸多企事業(yè)單位。筱曉擁有一支核心的管理團隊以及專業(yè)的研發(fā)實驗室，奠定了我們在設(shè)備的拓展應(yīng)用及自主研發(fā)領(lǐng)域堅實的基礎(chǔ)。
主要經(jīng)營
激光器/光源
半導(dǎo)體激光器（DFB激光器、SLD激光器、量子級聯(lián)激光器、FP激光器、VCSEL激光器）
氣體激光器（HENE激光器、氬離子激光器、氦鎘激光器）
光纖激光器（連續(xù)激光器、超短脈沖激光器）
光學(xué)元件
光纖光柵濾波器、光纖放大器、光學(xué)晶體、光纖隔離器/環(huán)形器、脈沖驅(qū)動板、光纖耦合器、氣體吸收池、光纖準(zhǔn)直器、光接收組件、激光控制驅(qū)動器等各種無源器件
激光分析設(shè)備
高精度光譜分析儀、自相關(guān)儀、偏振分析儀，激光波長計、紅外相機、光束質(zhì)量分析儀、紅外觀察鏡等
光纖處理設(shè)備
光纖拉錐機、裸光纖研磨機。